BG大游官网BG大游官网金融界2024年12月27日消息,国家知识产权局信息显示,常州捷佳创精密机械有限公司取得一项名为“一种集中式供气柜”的专利,授权公告号CN 222205421 U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,本实用新型属于硅片镀膜供气技术领域,具体涉及一种集中式供气柜,本装置包括:柜体,所述柜体内设置有若干进气主管和出气主管;所述进气主管的出口连接有进气支管,所述进气支管连接至所述出气主管的管壁,以及,所述进气支管上设置有第一气动阀;简言之,通过若干进气主管能够连接多种气源,完成气源的输入;进一步的,通过进气支管能够将多种气体输出至出气主管,配合第一气动阀能够控制输出的气体的种类,并且能够在出气主管内进行混合。
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